首先要提取污染物，并通過沖洗、壓力噴洗、超聲波沖洗或擦拭的方法將污染物轉移到液體介質中。然后，利用真空過濾將粒子留在濾膜上。

零件漂洗后，殘余的油脂和潤滑脂通過旋轉蒸發儀選擇性地使液體介質（如石油醚）蒸發并與之分離，然后單獨稱重。稱量剩余油污重量以量化判斷零件是否達到無油表面的質量要求。

最簡單評估粒子數量的方法就是稱量濾膜過濾前后的重量，然后計算重量差，其重量差就是粒子的重量。對于最基本的清潔度測試，這種稱量的結果就足夠了。

高端光學粒子掃描儀（顆粒清潔度儀）能夠在幾分鐘內，掃描得到濾膜上的粒子計數以及尺寸大小。因為粒子掃描儀的價格經濟，并可以快速地讀出數據，所以該儀器可用于工廠的日常生產控制過程中。

在清潔度測試中，現在更趨向測量污染物顆粒的空間大小。為了測量粒子的尺寸大小和體積，必須準備X-射線顯微斷層攝影系統。

粒度分析的最終方案，是通過自動電子顯微鏡和EDS（能譜儀）測量其大小和化學類型。其中包括粒子數量和大小，以及確認每個粒子的化學組成。。